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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:桌面型石英腔體小型蒸發(fā)鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-EVZ180-I-H-Q
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
本產(chǎn)品為桌面型小型蒸發(fā)鍍膜儀,可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發(fā)溫度可達(dá)1800℃,能夠滿足各種常見金屬及部分非金屬的蒸鍍
詳情介紹:

本產(chǎn)品為桌面型小型蒸發(fā)鍍膜儀,可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發(fā)溫度可達(dá)1800℃,能夠滿足各種常見金屬及部分非金屬的蒸鍍。真空腔體采用高純石英制作,具有便于觀察鍍膜過程,易于清洗的優(yōu)點;配合分子泵組可達(dá)到5x10-4Pa極限真空,能夠有效保證蒸鍍薄膜的純凈度和結(jié)合力。

小型蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

桌面型石英腔體蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品型號

CY-EVZ180-I-H-Q

樣品臺

外形尺寸

直徑φ60mm

轉(zhuǎn)速

≦20rpm

至蒸發(fā)源間距

60~100mm 連續(xù)可調(diào)

蒸發(fā)源

有機(jī)蒸發(fā)源(石英舟和鎢絲發(fā)熱源)

蒸發(fā)電源

每個蒸發(fā)源配一組獨立電源

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ180mm,高度200mm

觀察窗口

直徑φ60mm

腔體材質(zhì)

高純石英

開啟方式

上開啟式

膜厚測量

膜厚測量儀(可選膜厚控制儀)

真空系統(tǒng)

前級泵

雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S

次級泵

渦輪分子泵,氣體抽速600L/S

真空測量

復(fù)合真空(電離規(guī)+電阻規(guī))

系統(tǒng)真空

5×10-4Pa

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級控制器

其他參數(shù)

供電電

AC220V,50Hz

整機(jī)尺寸

600mm×600mm×750mm

整機(jī)功率

1200W

整機(jī)重量

40kg


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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