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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:PECVD鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-PECVD-450T-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
CY-PECVD-450化學(xué)氣相沉積采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積技術(shù),能夠利用高能量等離子體促進(jìn)反應(yīng)過程,有效提升反應(yīng)速度,降低反應(yīng)溫度。適用于在光學(xué)玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜,成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂,適用于制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽電池器件,可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。
詳情介紹:

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品型號(hào)

CY-PECVD-450T-SS

真空腔體

前開門式,φ300mm X 300mm 不銹鋼材質(zhì)

觀察窗:φ100mm 帶擋板

真空泵組

前級(jí)泵:旋片泵 抽速1.1L/s

次級(jí)泵:渦輪分子泵 抽速600L/s

極限真空度

10-6Pa

三十分鐘內(nèi)可達(dá)到 10-4Pa

沉積真空

0.133~133Pa,可根據(jù)工藝調(diào)整

射頻電源

13.56MHz,500W,自動(dòng)匹配

流量控制

質(zhì)量流量計(jì),默認(rèn) Ar氣 0~200sccm

整機(jī)尺寸

1100mm x 800mm x1100mm

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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