該滑道爐由爐體和軌道支架部分組成，同時可搭配進氣系統(tǒng)和真空裝置組成CVD系統(tǒng)。管式爐默認為600mm長的單溫區(qū)設計，可以形成較長的恒溫區(qū)域，也可定制為雙溫區(qū)或者三溫區(qū)爐膛，以適應不同的試驗需求。電爐安裝在滑軌支架上，可以實現(xiàn)快速升降溫，提升實驗效率。爐管可配熱電偶測溫，可以準確控制反應條件。電爐采用智能溫控表控溫，操作簡便直觀。

滑道管式爐應用領域：

       本產(chǎn)品主要應用于需要快速升降溫的實驗，尤其適合快速熱處理，也可以與其他設備共同組成CVD系統(tǒng)。

滑道管式爐技術參數(shù)：

單溫區(qū)管式爐	產(chǎn)品型號	CY-O1200-50I-T-L600
	爐膛長度	820mm
	加熱區(qū)長	600mm
	恒溫區(qū)長	300mm
	工作溫度	0～1100℃
	控溫精度	±1℃
	控溫模式	30段程序控溫
	顯示模式	LED高亮數(shù)碼管
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
爐管	爐管材質(zhì)	高純石英
	爐管長度	φ50mm x 2000mm
	密封方式	304不銹鋼真空水冷法蘭
	法蘭接口	1/4英寸卡套接頭
抽氣系統(tǒng)	機械泵	VRD-4
	抽氣速率	4L/S
	排氣接口	KF16
	真空測量	電阻規(guī)
	極限真空	1×10E-1Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
	抽氣接口	KF16
軌道	軌道長度	2m 能實現(xiàn)爐子至少一個爐位長度的滑動，實現(xiàn)快速升降溫

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